日本信越化學工業公司于2015年4月9日宣布，為了擴大光刻膠相關業務，將在臺灣新設工廠。該公司已向臺灣相關部門提出了施工許可申請，將在獲得許可后立即動工。工期約為1年，預計投資金額為130億日元左右。

      1991年，信越化學以開創新業務為目的，成立了由董事長金川千尋（當時是社長）擔任委員長的“Z委員會”。作為課題之一，該委員會一直致力于光刻膠的研發。據介紹，當時的曝光工序主要采用g線和i線等高壓汞燈光譜線作為光源，不過在新一代微細化工藝中，KrF準分子激光作為新型光源備受期待。

      較晚加入光刻膠行業的信越化學，一開始就投身于難度較高的KrF準分子激光用光刻膠的開發。該公司利用長年積累的合成技術，成功地開發出了客戶要求的高靈敏度產品，并從1997年開始在日本新潟縣的直江津工廠生產。

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